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聯絡分機: 6715

服務說明:

SEM 與其所附EDS系統是材料科學、光電元件、化學催化、奈米結構與生醫應用中最基本且不可或缺的分析工具，能提供樣品表面微結構與元素組成定性/定量分析，對於研究成果驗證具有關鍵性。

本校貴重儀器中心雖已有高解析場發射SEM服務，但因為高解析場發射顯微鏡價格與維護費用昂貴，使用者又多，以致其服務費用較高，對於一些初步想檢查樣本成分與基礎形貌的使用者來說，量測成本頗高。

我們的SEM相對來說，解析度雖然無法達到場發射的高解析度，但因為機台成本低，且具備不錯的EDS功能，可以作為初步檢查樣本形貌與成分的好選擇。綜合而言，本機台的缺點是解析度不如場發射機台，但其優點為，機台具備EDS功能，且量測成本低，便於推廣使用，可減輕現有高解析場發射機台的負載。

服務內容及收費標準：

服務項目	工作內容	使用單位	收費標準
SEM (無使用EDS) 服務	委託操作: 表面形貌量測	校內	第一小時300元，每30分鐘200元。
		校外	第一小時400元，每30分鐘200元。
	說明: 1.最低收費時數為1小時，之後以每30分鐘加收，不足30分鐘以30分鐘計算。計算時間從放入第一個樣本後開始，取出最後樣本後結束。 2.部分量測過程依使用者熟悉儀器狀態，經操作員同意由使用者自行操作。
SEM (使用EDS) 服務	委託操作: (1)微區顯微成分之定性及半定量分析 (2) 微區line-scan、dot-mapping、spot分析及成像	校內	第一小時400元，每30分鐘200元。
		校外	第一小時500元，每30分鐘200元。
	說明: 1.最低收費時數為1小時，之後以每30分鐘加收，不足30分鐘以30分鐘計算。計算時間從放入第一個樣本後開始，取出最後樣本後結束。 2.部分量測過程依使用者熟悉儀器狀態，經操作員同意可由使用者自行操作。
試片鍍金服務	委託操作	校內	每次300元
		校外
	說明:非導體、粉體等試片需鍍金以避免電荷累積影響觀察解析度。

備註: 本機台非高解析場發射機台，協助操作之同學亦非專職操作員。本機台建議做為樣本初步表面形貌觀察與成分分析之用。若有高解析度量測需求，請另洽場發射電子顯微鏡機台。若使用者對SEM/EDS量測品質不滿意，請於第一小時內提出並退出量測，將僅收一小時費用。

使用管理:

本機台非高解析場發射機台，建議做為樣本初步表面形貌觀察與成分分析之用。若有高解析度量測需求，請另洽場發射電子顯微鏡機台。若使用者對SEM量測品質不滿意，請於第一小時內提出並退出量測，將僅收一小時費用。

註:

(1)含鐵、鈷、鎳等磁性試片或會造成儀器損壞之試片嚴禁使用，如發生損壞，維修費用需自行負責。

(2)粉體樣本需經吹氣測試後無微粒掉落，方可放入觀測。

(3)取消預約必須在實驗日前三天前聯絡管理員，未告知將照常收費或取消未來使用權。